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    • 中科晶源

    中科晶源微電子技術(shù)（北京）有限公司

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    • 地址：北京市北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)經(jīng)海四路156號(hào)院12號(hào)樓5層
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    專(zhuān)利信息41

    序號(hào) 專(zhuān)利名稱(chēng) 專(zhuān)利類(lèi)型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 掃描電子顯微鏡裝置和電子束檢測(cè)設(shè)備 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110746460.9 CN113471042A 2021-10-01
    2 掃描電子顯微鏡裝置和電子束檢測(cè)設(shè)備 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110746459.6 CN113471041A 2021-10-01
    3 縱向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及具有其的電子束檢測(cè)設(shè)備 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110571872.3 CN113394066A 2021-09-14
    4 校準(zhǔn)OM和SEM坐標(biāo)關(guān)系的方法和裝置、設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì) 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110607323.7 CN113379692A 2021-09-10
    5 用于電子束缺陷檢測(cè)的像素尺寸校準(zhǔn)方法和裝置及設(shè)備 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110583651.8 CN113379622A 2021-09-10
    6 掩模數(shù)據(jù)切割方法和裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì) 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110607431.4 CN113378507A 2021-09-10
    7 圖像校準(zhǔn)方法和裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì) 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110607397.0 CN113327204A 2021-08-31
    8 晶片轉(zhuǎn)移裝置、腔體裝置、晶片處理設(shè)備 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110136478.7 CN113314447A 2021-08-27
    9 缺陷分類(lèi)器和缺陷分類(lèi)方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì) 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110607390.9 CN113298166A 2021-08-24
    10 用于半導(dǎo)體器件的電子束檢測(cè)設(shè)備、和電子束檢測(cè)組件 發(fā)明專(zhuān)利 CN201911179973.5 CN110988003B 2021-08-13

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