芯米
芯米(廈門(mén))半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
存續(xù)商標(biāo)信息2
專利信息77
序號(hào) | 專利名稱 | 專利類型 | 申請(qǐng)?zhí)?/th> | 公開(kāi)(公告)號(hào) | 公布日期 |
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1 | 雙緩沖型光阻液噴涂系統(tǒng) | 發(fā)明專利 | CN202010263934.X | CN111451061B | 2021-12-31 |
2 | 多尺寸基板晶圓裝載機(jī)構(gòu) | 實(shí)用新型 | CN202022586656.X | CN214898379U | 2021-11-26 |
3 | 一種液體涂覆裝置 | 實(shí)用新型 | CN202022577308.6 | CN214864734U | 2021-11-26 |
4 | 一種化學(xué)液處理回收裝置 | 實(shí)用新型 | CN202022586253.5 | CN214597534U | 2021-11-05 |
5 | 顯影液分類回收處理設(shè)備 | 實(shí)用新型 | CN202022588351.2 | CN214597458U | 2021-11-05 |
6 | 光刻膠收集裝置自動(dòng)清洗系統(tǒng) | 實(shí)用新型 | CN202022577530.6 | CN214516414U | 2021-10-29 |
7 | 一種卡榫及具有其的真空馬達(dá)式晶圓吸盤(pán) | 發(fā)明專利 | CN202110667887.X | CN113565885A | 2021-10-29 |
8 | 半導(dǎo)體基板烘烤裝置 | 實(shí)用新型 | CN202022586357.6 | CN214099589U | 2021-08-31 |
9 | 晶圓表面干燥吹掃設(shè)備 | 實(shí)用新型 | CN202022586331.1 | CN214099588U | 2021-08-31 |
10 | 顯影液恒溫管路系統(tǒng) | 實(shí)用新型 | CN202022585265.6 | CN214098111U | 2021-08-31 |
軟件著作權(quán)7
序號(hào) | 軟件名稱 | 軟件簡(jiǎn)稱 | 版本號(hào) | 登記號(hào) | 分類號(hào) | 首次發(fā)表日期 | 登記批準(zhǔn)日期 |
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1 | Hot/Coling Plate熱/冷盤(pán)運(yùn)行監(jiān)測(cè)系統(tǒng) | - | V1.0 | 2020SR0615415 | - | - | 2020-06-12 |
2 | Track system Track操作系統(tǒng) | - | V1.0 | 2020SR0615393 | - | - | 2020-06-12 |
3 | Spinmotor Unit旋轉(zhuǎn)馬達(dá)單元程序系統(tǒng) | - | V1.0 | 2020SR0615355 | - | - | 2020-06-12 |
4 | Robot Arm機(jī)械手臂控制系統(tǒng) | - | V1.0 | 2020SR0615347 | - | - | 2020-06-12 |
5 | Developer Unit顯影工序控制系統(tǒng) | - | V1.0 | 2020SR0611826 | - | - | 2020-06-11 |
6 | Coater Unit光刻膠涂布工序控制系統(tǒng) | - | V1.0 | 2020SR0611820 | - | - | 2020-06-11 |
7 | Dispense Module噴涂模組工藝控制系統(tǒng) | - | V1.0 | 2020SR0611615 | - | - | 2020-06-11 |
作品著作權(quán)0
網(wǎng)站備案1
序號(hào) | 網(wǎng)站名 | 網(wǎng)址 | 備案號(hào) | 主辦單位性質(zhì) | 審核日期 |
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1 | 芯米(廈門(mén))半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 | www.ximisemi.com | 閩ICP備19004956號(hào) | 企業(yè) | 2019-03-18 |
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