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    • 裝備材料

    上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司

    存續(xù)
    • 地址：上海市嘉定區(qū)婁陸公路497號
    • 簡介：-
    • 商標信息 2
    • 專利信息 59
    • 軟件著作權(quán) 0
    • 作品著作權(quán) 0
    • 網(wǎng)站備案 0

    商標信息2

    序號 商標名稱 國際分類 注冊號 狀態(tài) 申請日期 操作
    1 CICEM 40類-材料加工 49467928A 商標已注冊 2020-09-03 查看
    2 CICEM - 49467928 等待實質(zhì)審查 2020-09-03 查看

    專利信息59

    序號 專利名稱 專利類型 申請?zhí)?/th> 公開（公告）號 公布日期
    1 一種光刻機的旋轉(zhuǎn)平臺的旋轉(zhuǎn)裝置 發(fā)明專利 CN202110067127.5 CN112947007A 2021-06-11
    2 一種零位傳感器及檢測系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN202110067141.5 CN112902838A 2021-06-04
    3 柱形光柵干涉儀及讀數(shù)頭總成裝置 發(fā)明專利 CN202110067125.6 CN112902832A 2021-06-04
    4 一種改善傳輸遲滯的像元結(jié)構(gòu) 發(fā)明專利 CN202110062018.4 CN112864183A 2021-05-28
    5 具有旋轉(zhuǎn)交換雙工件臺的光刻裝置的曝光方法 發(fā)明專利 CN202110067156.1 CN112835271A 2021-05-25
    6 一種旋轉(zhuǎn)平臺的旋轉(zhuǎn)測控裝置 發(fā)明專利 CN202110067126.0 CN112835270A 2021-05-25
    7 一種光刻裝置及曝光方法 發(fā)明專利 CN202110067118.6 CN112835269A 2021-05-25
    8 一種非接觸式電容傳感器裝置 發(fā)明專利 CN202110067143.4 CN112815817A 2021-05-18
    9 提取CIS像元陣列電路寄生電阻電容的方法和系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN202011625611.7 CN112784523A 2021-05-11
    10 CIS像素陣列任意像元完全耗盡電壓的測試電路 發(fā)明專利 CN202011589600.8 CN112738433A 2021-04-30

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