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    安集微電子科技（上海）股份有限公司

    存續(xù)
    • 地址：上海市浦東新區(qū)華東路5001號金橋出口加工區(qū)（南區(qū)）T6－9幢底層
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    • 專利信息 222
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    專利信息222

    序號 專利名稱 專利類型 申請?zhí)?/th> 公開（公告）號 公布日期
    1 一種用于阻擋層平坦化的化學機械拋光液 發(fā)明專利 CN201611231351.9 CN108250972B 2021-09-21
    2 一種氮化硅化學機械拋光液 發(fā)明專利 CN201611070743.1 CN108117840B 2021-09-21
    3 一種化學機械拋光液 發(fā)明專利 CN201710569718.6 CN109251671B 2021-09-17
    4 一種具有高氮化硅選擇性的化學機械拋光液 發(fā)明專利 CN201611070473.4 CN108117839B 2021-09-17
    5 一種氮化硅化學機械拋光液 發(fā)明專利 CN201611070459.4 CN108117838B 2021-09-17
    6 一種用于阻擋層平坦化的化學機械拋光液 發(fā)明專利 CN201611231383.9 CN108250977B 2021-08-27
    7 一種化學機械拋光液 發(fā)明專利 CN201710570203.8 CN109251677B 2021-08-13
    8 一種化學機械拋光液 發(fā)明專利 CN201710570202.3 CN109251676B 2021-07-30
    9 一種化學機械拋光液 發(fā)明專利 CN201710569910.5 CN109251675B 2021-07-30
    10 一種等離子體刻蝕殘留物清洗液 發(fā)明專利 CN201911407714.3 CN113130292A 2021-07-16

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    暫無信息 暫無軟件著作權(quán)

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