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    • 中欣晶圓

    上海中欣晶圓半導體科技有限公司

    存續(xù)
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    • 地址：上海市寶山區(qū)山連路181號1幢
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    商標信息0

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    專利信息87

    序號 專利名稱 專利類型 申請?zhí)?/th> 公開（公告）號 公布日期
    1 一種去除摻Sb品腐蝕藥液殘留的方法 發(fā)明專利 CN202110947461.X CN113787047A 2021-12-14
    2 一種用于半導體晶圓的自動定量加液裝置 實用新型 CN202121322433.0 CN215118845U 2021-12-10
    3 一種P重摻型硅片噴砂前預處理方法 發(fā)明專利 CN201911081149.6 CN110957207B 2021-12-10
    4 一種P重摻型硅片噴砂前預處理方法 發(fā)明專利 CN201911081149.6 CN110957207A 2021-12-10
    5 一種檢測拋光硅片表面淺在缺陷的方法 發(fā)明專利 CN201910922971.4 CN110676155B 2021-12-10
    6 一種檢測拋光硅片表面淺在缺陷的方法 發(fā)明專利 CN201910922971.4 CN110676155A 2021-12-10
    7 一種用于硅片清洗拋光的混酸清洗液及拋光硅片清洗方法 發(fā)明專利 CN202111031405.8 CN113736580A 2021-12-03
    8 一種提高平邊產(chǎn)品晶棒線切割入刀穩(wěn)定性的方法 發(fā)明專利 CN202010564568.1 CN111805779B 2021-12-03
    9 一種提高硅片最終清洗金屬程度的方法及裝置 發(fā)明專利 CN201810981196.5 CN109326505B 2021-12-03
    10 一種單片式硅片使用有機酸的清洗方法 發(fā)明專利 CN202110849318.7 CN113658851A 2021-11-16

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