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    • 華海清科

    華海清科（北京）科技有限公司

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    專利信息32

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開（公告）號(hào) 公布日期
    1 晶圓清洗裝置 發(fā)明專利 CN202011153388.0 CN112371591B 2022-03-04
    2 一種拋光液供給裝置和化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備 發(fā)明專利 CN202111264391.4 CN113953968A 2022-01-21
    3 一種化學(xué)機(jī)械拋光頭和拋光系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN202111209062.X CN113878488A 2022-01-04
    4 具有差動(dòng)螺紋結(jié)構(gòu)的磨削設(shè)備 發(fā)明專利 CN202010748282.9 CN111823084B 2021-11-26
    5 具有可調(diào)節(jié)的吸盤轉(zhuǎn)臺(tái)的磨削設(shè)備 發(fā)明專利 CN202010748283.3 CN111730430B 2021-10-15
    6 一種拋光液輸送裝置和化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備 發(fā)明專利 CN202110499303.2 CN113442068A 2021-09-28
    7 一種化學(xué)機(jī)械拋光裝置 實(shí)用新型 CN202022875338.5 CN213917712U 2021-08-10
    8 晶圓清洗裝置 實(shí)用新型 CN202022398492.8 CN213915030U 2021-08-10
    9 一種清洗刷對(duì)中裝置和晶圓清洗裝置 實(shí)用新型 CN202023002429.4 CN213716852U 2021-07-16
    10 晶圓清洗裝置 實(shí)用新型 CN202022398431.1 CN213468778U 2021-06-18

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