瀚天天成
瀚天天成電子科技(廈門)有限公司
存續(xù)商標(biāo)信息4
專利信息51
序號 | 專利名稱 | 專利類型 | 申請?zhí)?/th> | 公開(公告)號 | 公布日期 |
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1 | 一種碳化硅外延生長的控制方法及碳化硅外延片 | 發(fā)明專利 | CN202011344467.X | CN112466745B | 2021-10-08 |
2 | 一種分離式外延生長承載盤 | 實用新型 | CN202023025764.6 | CN213936156U | 2021-08-10 |
3 | 一種外延薄膜生長承載盤 | 實用新型 | CN202022770695.5 | CN213925129U | 2021-08-10 |
4 | 一種提高碳化硅外延薄膜生長質(zhì)量的方法 | 發(fā)明專利 | CN202011420249.X | CN112490117B | 2021-08-10 |
5 | 一種提高碳化硅外延薄膜生長質(zhì)量的方法 | 發(fā)明專利 | CN202011420249.X | CN112490117A | 2021-08-10 |
6 | 一種晶片清洗裝置 | 發(fā)明專利 | CN202110430344.6 | CN113140488A | 2021-07-20 |
7 | 一種半導(dǎo)體摻雜層厚度無損檢測方法 | 發(fā)明專利 | CN202110423512.9 | CN113140478A | 2021-07-20 |
8 | 一種碳化硅外延反應(yīng)室源氣進(jìn)氣過渡部件 | 實用新型 | CN202022046710.1 | CN213624472U | 2021-07-06 |
9 | 一種碳化硅外延反應(yīng)室側(cè)壁部件 | 實用新型 | CN202022031451.5 | CN213624470U | 2021-07-06 |
10 | 一種源氣進(jìn)氣過渡部件的拆取裝置 | 實用新型 | CN202022095273.2 | CN213624370U | 2021-07-06 |
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