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    • 中欣晶圓

    寧夏中欣晶圓半導體科技有限公司

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    • 地址：銀川經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)光明西路28號
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    專利信息105

    序號 專利名稱 專利類型 申請?zhí)?/th> 公開（公告）號 公布日期
    1 一種提高<100>單晶成活率的放肩方法 發(fā)明專利 CN202210403758.4 CN114717648A 2022-07-08
    2 二維調(diào)整單晶硅棒晶向的接著方法 發(fā)明專利 CN202210348230.1 CN114714526A 2022-07-08
    3 直拉硅單晶的摻雜裝置及方法 發(fā)明專利 CN202110829948.8 CN113549994B 2022-07-01
    4 晶棒碳含量軸向分布計算方法 發(fā)明專利 CN202210305967.5 CN114637954A 2022-06-17
    5 一種吹氣型晶圓傳片系統(tǒng)及操作方法 發(fā)明專利 CN202210079640.0 CN114582769A 2022-06-03
    6 提高CV爐摻銻氧含量的控制系統(tǒng)及微控方法 發(fā)明專利 CN202210079676.9 CN114577023A 2022-06-03
    7 一種降低輕摻硼晶棒體內(nèi)鐵含量系統(tǒng)及操作方法 發(fā)明專利 CN202210165196.4 CN114574975A 2022-06-03
    8 一種拉晶爐P-N型轉換過程中雜質(zhì)元素的控制系統(tǒng)及方法 發(fā)明專利 CN202210079672.0 CN114574964A 2022-06-03
    9 一種摻雜鐘罩系統(tǒng)及其改變摻雜氣體分子路徑方法 發(fā)明專利 CN202210078575.X CN114574945A 2022-06-03
    10 穩(wěn)定300mm單晶硅片摻砷元素拉晶溫度的單晶爐 實用新型 CN202123383164.1 CN216639712U 2022-05-31

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