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    • 邑晶

    無(wú)錫市邑晶半導(dǎo)體科技有限公司

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    • 地址：無(wú)錫市新吳區(qū)觀山路1號(hào)（超駿大廈）第4層819室
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    專利信息30

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種ALD加工設(shè)備 實(shí)用新型 CN202022904146.2 CN214937792U 2021-11-30
    2 基體裝載裝置 實(shí)用新型 CN202120163715.4 CN214694361U 2021-11-12
    3 一種ALD基體轉(zhuǎn)運(yùn)裝置 實(shí)用新型 CN202022904041.7 CN214694359U 2021-11-12
    4 一種ALD加熱組件 實(shí)用新型 CN202022900008.7 CN214694358U 2021-11-12
    5 鍍膜方法、晶圓膜層及薄膜設(shè)備 發(fā)明專利 CN202110869350.1 CN113584463A 2021-11-02
    6 一種ALD反應(yīng)腔室 實(shí)用新型 CN202022899057.3 CN214458309U 2021-10-22
    7 一種ALD反應(yīng)器 實(shí)用新型 CN202022898949.1 CN214458308U 2021-10-22
    8 一種ALD尾氣熱解組件以及抽氣裝置 實(shí)用新型 CN202120162212.5 CN214437719U 2021-10-22
    9 一種ALD加工設(shè)備 實(shí)用新型 CN202120163712.0 CN214400713U 2021-10-15
    10 一種ALD加工設(shè)備 實(shí)用新型 CN202120163328.0 CN214400712U 2021-10-15

    軟件著作權(quán)0

    暫無(wú)信息 暫無(wú)軟件著作權(quán)

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