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    • 微電子

    上海微電子裝備（集團）股份有限公司

    存續(xù)
    • 地址：中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)張東路1525號
    • 簡介：-
    • 商標(biāo)信息 36
    • 專利信息 4214
    • 軟件著作權(quán) 0
    • 作品著作權(quán) 0
    • 網(wǎng)站備案 1

    商標(biāo)信息36

    序號 商標(biāo)名稱 國際分類 注冊號 狀態(tài) 申請日期 操作
    1 SMEE 09類-科學(xué)儀器 41626506 商標(biāo)已注冊 2019-10-15 查看
    2 圖形 09類-科學(xué)儀器 41626505 商標(biāo)已注冊 2019-10-15 查看
    3 SMEE 12類-運輸工具 39057833 商標(biāo)已注冊 2019-06-24 查看
    4 圖形 42類-網(wǎng)站服務(wù) 36456131 商標(biāo)已注冊 2019-02-22 查看
    5 SMEE 12類-運輸工具 36296490 商標(biāo)已注冊 2019-02-02 查看
    6 迷宮 07類-機械設(shè)備 34101591 商標(biāo)已注冊 2018-10-18 查看
    7 納米迷宮 NANOMAZE 07類-機械設(shè)備 34101590 商標(biāo)無效 2018-10-18 查看
    8 SMEE-IOI 41類-教育娛樂 24089171 商標(biāo)已注冊 2017-05-11 查看
    9 極光 AURORA 07類-機械設(shè)備 24087959 商標(biāo)無效 2017-05-11 查看
    10 水晶棋盤 CHESSBOARD 07類-機械設(shè)備 24087545 商標(biāo)已注冊 2017-05-11 查看

    專利信息4214

    序號 專利名稱 專利類型 申請?zhí)?/th> 公開（公告）號 公布日期
    1 相位調(diào)制方法、相位調(diào)制器、標(biāo)記對準(zhǔn)系統(tǒng)及可讀存儲介質(zhì) 發(fā)明專利 CN201910465393.6 CN112015060B 2021-10-19
    2 金屬薄膜打印裝置及打印方法 發(fā)明專利 CN201910344615.9 CN111842885B 2021-10-19
    3 光刻機劑量均勻性的測量方法 發(fā)明專利 CN201911039601.2 CN112731768B 2021-10-15
    4 一種掩模版、運動臺定位誤差補償裝置及補償方法 發(fā)明專利 CN201910152262.2 CN111624856B 2021-10-15
    5 一種氣浴裝置及光刻機 發(fā)明專利 CN201811158115.8 CN110966916B 2021-10-15
    6 一種硅片交接裝置 發(fā)明專利 CN202010258398.4 CN113496931A 2021-10-12
    7 一種擾動力生成裝置及方法 發(fā)明專利 CN202010199517.3 CN113495010A 2021-10-12
    8 掩模夾持模塊及掩模拉伸裝置 發(fā)明專利 CN202010197042.4 CN113493891A 2021-10-12
    9 四象限傳感器的標(biāo)定方法、掩模傳輸分系統(tǒng)和光刻設(shè)備 發(fā)明專利 CN201910360970.5 CN111856894B 2021-10-12
    10 一種激光退火裝置及其退火方法 發(fā)明專利 CN201511021931.0 CN106935491B 2021-10-12

    軟件著作權(quán)0

    暫無信息 暫無軟件著作權(quán)

    作品著作權(quán)0

    暫無信息 暫無作品著作權(quán)

    網(wǎng)站備案1

    序號 網(wǎng)站名 網(wǎng)址 備案號 主辦單位性質(zhì) 審核日期
    1 上海微電子裝備有限公司 www.smee.com.cn 滬ICP備16022366號 企業(yè) 2019-09-06
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