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    無錫市邑勉微電子有限公司

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    專利信息11

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種干法去膠機(jī)頂針升降裝置 實(shí)用新型 CN202020062537.1 CN212161784U 2020-12-15
    2 一種干法去膠機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置 實(shí)用新型 CN202020069389.6 CN212161771U 2020-12-15
    3 一種晶圓的旋轉(zhuǎn)升降傳送機(jī)構(gòu) 實(shí)用新型 CN202020026974.8 CN212161770U 2020-12-15
    4 一種真空閥門 實(shí)用新型 CN202020026135.6 CN212155868U 2020-12-15
    5 一種固定晶圓用靜電吸盤 實(shí)用新型 CN202020126023.8 CN211629057U 2020-10-02
    6 一種雙晶圓反應(yīng)腔式去膠機(jī) 實(shí)用新型 CN202020069824.5 CN211629045U 2020-10-02
    7 一種法拉第屏蔽反應(yīng)腔室 實(shí)用新型 CN202020120986.7 CN211629038U 2020-10-02
    8 一種等離子體刻蝕機(jī)用下電極屏蔽裝置 實(shí)用新型 CN202020069859.9 CN211629037U 2020-10-02
    9 一種等離子體刻蝕機(jī)用勻氣盤 實(shí)用新型 CN202020069857.X CN211629036U 2020-10-02
    10 一種等離子刻蝕機(jī)夾具基座 實(shí)用新型 CN202020069794.8 CN211629035U 2020-10-02

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