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    • 中安

    南京中安半導(dǎo)體設(shè)備有限責(zé)任公司

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    • 地址：中國(guó)（江蘇）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)南京片區(qū)研創(chuàng)園團(tuán)結(jié)路99號(hào)孵鷹大廈1836室
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    • 商標(biāo)信息 0
    • 專利信息 11
    • 軟件著作權(quán) 14
    • 作品著作權(quán) 0
    • 網(wǎng)站備案 1

    商標(biāo)信息0

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    專利信息11

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 晶圓裝載裝置及晶圓檢測(cè)設(shè)備 發(fā)明專利 CN202210437198.4 CN114743912A 2022-07-12
    2 卡盤、相移式干涉儀及晶圓形貌干涉測(cè)量方法 發(fā)明專利 CN202210192266.5 CN114608475A 2022-06-10
    3 哈特曼測(cè)量裝置及其測(cè)量方法和晶圓幾何參數(shù)測(cè)量裝置 發(fā)明專利 CN202210118747.1 CN114543695A 2022-05-27
    4 成像平面空間的校正方法及其校正裝置以及晶圓測(cè)量裝置 發(fā)明專利 CN202110839395.4 CN113516645A 2021-10-19
    5 晶圓厚度的測(cè)量方法及其測(cè)量裝置 發(fā)明專利 CN202110611032.5 CN113503822A 2021-10-15
    6 氣浮卡盤 實(shí)用新型 CN202023200409.8 CN214279938U 2021-09-24
    7 氣浮卡盤 實(shí)用新型 CN202023200406.4 CN214152867U 2021-09-07
    8 晶圓測(cè)量裝置 實(shí)用新型 CN202023202278.7 CN214149172U 2021-09-07
    9 氣浮卡盤及晶圓幾何參數(shù)測(cè)量裝置 發(fā)明專利 CN202110396624.X CN113130368A 2021-07-16
    10 懸浮物的測(cè)量裝置和氣浮卡盤 發(fā)明專利 CN202110396643.2 CN113108715A 2021-07-13

    軟件著作權(quán)14

    序號(hào) 軟件名稱 軟件簡(jiǎn)稱 版本號(hào) 登記號(hào) 分類號(hào) 首次發(fā)表日期 登記批準(zhǔn)日期
    1 晶圓應(yīng)力檢測(cè)軟件 - V1.0 2022SR0524013 - - 2022-04-26
    2 干涉儀高密度測(cè)量軟件 - V1.0 2022SR0523894 - - 2022-04-26
    3 干涉儀高精度像差分析軟件 - V1.0 2022SR0441619 - - 2022-04-07
    4 晶圓翹曲度分析軟件 - V1.0 2022SR0441618 - - 2022-04-07
    5 晶圓半導(dǎo)體元件放電系統(tǒng) - V1.0 2021SR0448959 - - 2021-03-25
    6 半導(dǎo)體集成電路芯片性能測(cè)試系統(tǒng) - V1.0 2021SR0447231 - - 2021-03-24
    7 晶圓半導(dǎo)體提純工藝控制系統(tǒng) - V1.0 2021SR0444031 - - 2021-03-24
    8 半導(dǎo)體元件智能穩(wěn)壓控制系統(tǒng) - V1.0 2021SR0444029 - - 2021-03-24
    9 半導(dǎo)體產(chǎn)品參數(shù)檢測(cè)系統(tǒng)軟件 - V1.0 2021SR0443752 - - 2021-03-24
    10 半導(dǎo)體芯片性能綜合測(cè)試系統(tǒng) - V1.0 2021SR0443700 - - 2021-03-24

    作品著作權(quán)0

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