微高精密
上海微高精密機(jī)械工程有限公司
存續(xù)商標(biāo)信息3
專利信息281
序號(hào) | 專利名稱 | 專利類型 | 申請(qǐng)?zhí)?/th> | 公開(公告)號(hào) | 公布日期 |
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1 | 一種光刻機(jī)的快門葉片 | 發(fā)明專利 | CN201511022925.7 | CN106933041B | 2019-11-26 |
2 | 一種光刻機(jī)的擋光板裝置 | 發(fā)明專利 | CN201910653028.8 | CN110398883A | 2019-11-01 |
3 | 一種吸盤及其吸附方法 | 發(fā)明專利 | CN201510731089.3 | CN106653671B | 2019-08-23 |
4 | 一種調(diào)焦調(diào)平測(cè)量系統(tǒng)及其校準(zhǔn)方法 | 發(fā)明專利 | CN201511025832.X | CN106933072B | 2019-07-23 |
5 | 一種光刻機(jī)同步控制系統(tǒng)及方法 | 發(fā)明專利 | CN201511026460.2 | CN106933050B | 2019-05-31 |
6 | 一種對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)及對(duì)準(zhǔn)方法 | 發(fā)明專利 | CN201510859907.8 | CN106814557B | 2019-04-30 |
7 | 調(diào)焦調(diào)平的離焦傾斜補(bǔ)償裝置與方法 | 發(fā)明專利 | CN201511024259.0 | CN106933044B | 2019-03-12 |
8 | 一種投影曝光裝置及方法 | 發(fā)明專利 | CN201510646618.X | CN106569390B | 2019-01-18 |
9 | 一種調(diào)焦調(diào)平系統(tǒng)及其調(diào)焦調(diào)平方法 | 發(fā)明專利 | CN201511024299.5 | CN106933070B | 2018-11-09 |
10 | 氣壓測(cè)量裝置及方法、調(diào)焦調(diào)平裝置及光刻機(jī)設(shè)備 | 發(fā)明專利 | CN201510856576.2 | CN106814545B | 2018-08-24 |
軟件著作權(quán)0
作品著作權(quán)0
網(wǎng)站備案2
序號(hào) | 網(wǎng)站名 | 網(wǎng)址 | 備案號(hào) | 主辦單位性質(zhì) | 審核日期 |
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1 | 上海微高精密機(jī)械工程有限公司 | www.nanpre.com | 滬ICP備16033796號(hào) | 企業(yè) | 2019-05-31 |
2 | 上海微高精密機(jī)械工程有限公司 | www.nanpre.com | 滬ICP備16033796號(hào) | 企業(yè) | 2019-05-31 |
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