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    • 微高精密

    上海微高精密機械工程有限公司

    存續(xù)
    • 地址：中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)張東路1525號3幢G104室
    • 簡介：-
    • 商標信息 3
    • 專利信息 281
    • 軟件著作權(quán) 0
    • 作品著作權(quán) 0
    • 網(wǎng)站備案 2

    商標信息3

    序號 商標名稱 國際分類 注冊號 狀態(tài) 申請日期 操作
    1 微高 07類-機械設(shè)備 7257913 商標已注冊 2009-03-16 查看
    2 NANPRE 07類-機械設(shè)備 7257673 商標已注冊 2009-03-16 查看
    3 W;NANPRE 07類-機械設(shè)備 6120732 商標已注冊 2007-06-21 查看

    專利信息281

    序號 專利名稱 專利類型 申請?zhí)?/th> 公開（公告）號 公布日期
    1 一種光刻機的快門葉片 發(fā)明專利 CN201511022925.7 CN106933041B 2019-11-26
    2 一種光刻機的擋光板裝置 發(fā)明專利 CN201910653028.8 CN110398883A 2019-11-01
    3 一種吸盤及其吸附方法 發(fā)明專利 CN201510731089.3 CN106653671B 2019-08-23
    4 一種調(diào)焦調(diào)平測量系統(tǒng)及其校準方法 發(fā)明專利 CN201511025832.X CN106933072B 2019-07-23
    5 一種光刻機同步控制系統(tǒng)及方法 發(fā)明專利 CN201511026460.2 CN106933050B 2019-05-31
    6 一種對準系統(tǒng)及對準方法 發(fā)明專利 CN201510859907.8 CN106814557B 2019-04-30
    7 調(diào)焦調(diào)平的離焦傾斜補償裝置與方法 發(fā)明專利 CN201511024259.0 CN106933044B 2019-03-12
    8 一種投影曝光裝置及方法 發(fā)明專利 CN201510646618.X CN106569390B 2019-01-18
    9 一種調(diào)焦調(diào)平系統(tǒng)及其調(diào)焦調(diào)平方法 發(fā)明專利 CN201511024299.5 CN106933070B 2018-11-09
    10 氣壓測量裝置及方法、調(diào)焦調(diào)平裝置及光刻機設(shè)備 發(fā)明專利 CN201510856576.2 CN106814545B 2018-08-24

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    網(wǎng)站備案2

    序號 網(wǎng)站名 網(wǎng)址 備案號 主辦單位性質(zhì) 審核日期
    1 上海微高精密機械工程有限公司 www.nanpre.com 滬ICP備16033796號 企業(yè) 2019-05-31
    2 上海微高精密機械工程有限公司 www.nanpre.com 滬ICP備16033796號 企業(yè) 2019-05-31
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