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    • 諳邦

    上海諳邦半導體設(shè)備有限公司

    存續(xù)
    • 官網(wǎng)：-
    • 地址：中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)洲德路1588號2幢2座
    • 簡介：-
    • 商標信息 0
    • 專利信息 27
    • 軟件著作權(quán) 2
    • 作品著作權(quán) 0
    • 網(wǎng)站備案 0

    商標信息0

    暫無信息 暫無商標信息

    專利信息27

    序號 專利名稱 專利類型 申請?zhí)?/th> 公開（公告）號 公布日期
    1 一種新型的用于半導體器件制造的設(shè)備平臺及其工作方法 發(fā)明專利 CN202111600607.X CN114284190A 2022-04-05
    2 一種等離子體處理裝置 實用新型 CN202023050801.9 CN214313126U 2021-09-28
    3 一種反應腔裝置 實用新型 CN202023041281.5 CN214279904U 2021-09-24
    4 一種反應腔裝置 實用新型 CN202023041270.7 CN214099575U 2021-08-31
    5 一種反應腔裝置 實用新型 CN202120045068.7 CN213878020U 2021-08-03
    6 一種預真空鎖模塊 實用新型 CN202023184107.6 CN213583732U 2021-06-29
    7 一種反應腔裝置 實用新型 CN202023184490.5 CN213583696U 2021-06-29
    8 一種反應腔裝置 實用新型 CN202022651965.0 CN213583693U 2021-06-29
    9 一種腔內(nèi)晶圓尋心系統(tǒng) 實用新型 CN202022652065.8 CN213242522U 2021-05-18
    10 一種腔內(nèi)晶圓尋心系統(tǒng) 實用新型 CN202022645745.7 CN213242521U 2021-05-18

    軟件著作權(quán)2

    序號 軟件名稱 軟件簡稱 版本號 登記號 分類號 首次發(fā)表日期 登記批準日期
    1 12英寸等離子體ICP去膠設(shè)備反應腔室控制系統(tǒng) QJSpinelPM V1.0 2022SR0518968 - 2021-12-01 2022-04-25
    2 6寸等離子體CCP刻蝕設(shè)備反應腔室光譜控制系統(tǒng) CoralOES V1.0 2022SR0518917 - 2021-11-01 2022-04-25

    作品著作權(quán)0

    暫無信息 暫無作品著作權(quán)

    網(wǎng)站備案0

    暫無信息 暫無網(wǎng)站備案
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